宁波建立SEM校准装置社会公用计量标准

　　本报讯 4月15日，浙江省宁波市计量院扫描电子显微镜（SEM）校准装置顺利通过浙江省市场监管局考核，并正式取得社会公用计量标准证书。该社会公用计量标准的建立有效填补了浙江省在扫描电子显微镜量值传递与溯源能力上的空白，将率先为企业、高校及科研院所在高精密仪器计量校准领域提供精准技术保障。
　　扫描电子显微镜作为纳米级微观形貌分析仪器，是一种利用聚焦电子束扫描样品表面，通过检测二次电子、背散射电子等信号生成高分辨率图像的精密分析仪器，广泛应用于材料科学（金属断裂面分析、涂层结构观测）、生命科学（细胞/组织超微结构研究）、纳米技术（纳米颗粒形貌表征）、工业检测（芯片缺陷检测、产品质量控制）及地质考古（矿物成分分析、文物微观结构解析）等领域，是现代科研与工业检测不可或缺的跨学科分析工具，其测量结果的准确性直接影响到科研成果的可靠性和产品质量的稳定性。
　　宁波市作为全国重要的制造业基地，在新材料、电子信息、生物医药等领域拥有众多企业，在扫描电子显微镜的计量校准方面具有较大的需求。宁波市计量院立足院项目能力，集中优势资源，攻克关键技术难题，依据JJF 1033-2023《计量标准考核规范》和JJF 1916-2021《扫描电子显微镜校准规范》的要求，成功建立扫描电子显微镜校准装置。该装置可对扫描电子显微镜的测长示值误差、正交畸变、线性失真度等关键参数进行校准，确保其测量结果的准确可靠。

□王顺杰 劳云云